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分辨率是掃描電鏡（SEM）重要的參數(shù)之一。分辨率越好，可以看到的特征尺寸越小。分辨率的好壞往往取決于聚焦在樣品上的電子束斑的直徑（即束斑尺寸）。

在非理想電子光學(xué)系統(tǒng)中，束斑尺寸會因像差而變大。什么是電子光學(xué)系統(tǒng)中的像差？它們?nèi)绾斡绊懯叱叽纾吭谶@篇博客中，將回答這些問題并進(jìn)行深入的分析。

一個非常簡單的電子光學(xué)系統(tǒng)的例子

在之前的博客中，談到了鏡筒和透鏡組。通常，鏡筒由一組透鏡組成，這些透鏡具有約束電子束并將電子聚焦于樣品表面的功能。樣品上的束斑尺寸決定了電子顯微鏡的分辨率。但是，束斑尺寸是如何定義的呢？看看簡單的電子光學(xué)系統(tǒng)，如圖 1 所示。

圖1：簡單的電子光學(xué)系統(tǒng)由一個位于頂部的電子光源及聚焦電子束到樣品表面的透鏡組成。

在這個系統(tǒng)中，我們知道電子源與透鏡之間的距離（物距）和透鏡與樣品之間的距離（像距）。像距通常也稱為工作距離，它隨樣品高度的變化而變化。像距與物距的比值給出了電子光學(xué)系統(tǒng)的放大倍數(shù)。